在热式质量流量计中，层流元件（LFE）是旁路原理下的核心组件。其功能在于分流：气体总流量的一部分流经传感器，另一部分则通过 LFE。得益于特定的尺寸设计，LFE 能够复刻毛细管传感器的线性压降/流量特性，从而实现对极低至中等气体流量（<1 ml/min 至 20 l/min）的精准测量。
LFE 由薄叠金属板制成，这些板材经过化学蚀刻工艺加工至精确标准。化学蚀刻（亦称光化学机械加工 PCM 或化学铣削）是一种减材制造方法，适用于微精密零件生产。相比 CNC 加工、冲压等传统工艺，化学蚀刻无需昂贵模具，却能快速、经济地制造出复杂的多级、多特征高精度部件。从原型开发到大规模生产，该工艺均具有极高的竞争力。
采用化学蚀刻制造的 LFE 具备无应力、无毛刺、微米级特征尺寸及严格公差等关键优势。这种制造工艺不仅支持从 25 微米到 2 毫米的厚度范围，还能加工出圆孔、锐利边缘或成型边缘。对于热式质量流量计而言，LFE 内部直径仅为 0.2 毫米的毛细管结构，配合化学蚀刻带来的高精度，确保了快速响应时间和低能耗需求，仅需加热极小的管体体积即可实现高效测量。