旁路式热式质量流量计利用独特的“旁路”原理来精确测量气体流量。其核心在于，流体并不直接流经传感器主体，而是通过一个安装在主通道上的分流元件（如层流盘），将固定比例的气体引导至细长的毛细管状传感器通道中。
该毛细管由薄金属壁制成，内部设有两个加热电阻（RHT1 和 RHT2）。在无流量时，两点温度一致；当气体流过时，流体带走第一个点的热量使其降温，同时将第二个点的热量带离导致其升温。这种温差与气体质量流量成正比，从而实现高精度测量。
得益于毛细管的小直径设计，此类仪表响应迅速且能耗低，但需前置过滤器以防堵塞。针对低压降需求，还有专门设计的 LOW-dP-FLOW 系列，其大流道结构能降低堵塞风险并便于清洗，适用于腐蚀性气体环境。
在工业应用中，这类流量计在氢存储领域表现关键，用于金属氢化物储氢研究中的燃料细胞和车辆研发，确保精确控制气态反应物。此外，在实验室培育钻石（CVD 技术）生产中，它们为维持高质量晶体生长所需的稳定气体条件提供精准支持，并常与顶级设备制造商合作以优化生产效率。